TY  - BOOK
AU  - May, Gary S.
AU  - Sze,Simon M. 
TI  - Fundamentals of Semiconductor Fabrication
SN  - 0471452386
U1  - 537.622 
PY  - 2004///
CY  - US
PB  - Jhon Willy
KW  - Semiconductor Fabrication
ER  -