000
00258nam a22001217a 4500
005
20220518154819.0
008
190207b xxu||||| |||| 00| 0 eng d
041
_a
eng
100
_a
Sze, S M
_9
3255
245
_a
VLSI technology
260
_c
1983
942
_c
BK
999
_c
241845
_d
241845